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XDS 泵的设计极具创新性,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
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(Boc Edwards)是英国老牌真空设备供应商,是全 qiu zui大的真空设备供应商,用于半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造, 及工业、制药、化工、加工、玻璃镀膜、食品包装等行业。并且收购了日本精工后Edwards更是进一步确定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。
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Edwards nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染*少,可获得洁净的超高真空
nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
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