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Adixen ATH1300M 同Alcatel ATH1300M为同一型号，为法国阿尔卡特真空部门得经典之作，转速设计为34000rpm,采用 Adixen ACT1300M分子泵电源

6.真空泵或电机卡死。

解决办法：确认电机已断电，断开风扇罩。用手盘动电机和真空泵。如果手盘不动，将电机从泵上拆下，分别检查真空泵和电机，如果真空泵卡死，请及时维修泵（要*业的真空泵维修人员维修检验）。维修进口真空泵

7、抽气管堵塞。Adixen ATH1300M进口真空泵

解决办法：卸掉抽气管，单独运行泵，用手接触进出气口看百泵能否正常工作。如果此时泵不能抽气，那就是泵本身的问题了。

如果停用旋片式真空泵时，有油孔与泵腔相通或排气阀、轴封、泵盖平面、进气管、气镇阀等密封不严，由于液位差的存在和重力作用以及泵腔处于真空状态时油箱与泵腔的压差作用，真空泵油就会返入泵腔，油量足够大时，油还会返到进气管道中，造成下次起动时阻力大，旋片和转子受力大，排气阀受力大，起动困难，影响零部件寿命，降低旋片式真空泵的可靠性。因此，应设法防止停泵返油。其原理是，在停止旋片式真空泵时切断油路，消除泵腔负压，降低液位差，减少返入油量。Adixen ATH1300M进口真空泵维修

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高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。泵都有起始工作压强，传统的高真空泵都在几Pa的范围。因此前级泵必须预抽到这一压力主泵才能开始工作。但直排大气的前级泵抽至这一压力往往需要较长的时间，因为随着压力降低泵的抽速在减小，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，故增加一台中真空泵与前级低真空泵配合，可在较短的时间达到主泵可以工作的压力，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。阿尔卡特真空泵维护

真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的bi不可少的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。阿尔卡特真空泵维护

在我国，真空泵是一个量大面广的产品，但是虽然它的产量很大，但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量bi不可少的基础产品，不过在真空泵产品的高duan领域.，国产品牌真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。阿尔卡特真空泵维护

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间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度易于保证，故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×10^2帕，双级为1×10^3帕。阿尔卡特进口泵维修

利用机械方法获得真空的设备称为机械真空泵或机械泵,其中主要的是转动泵、分子泵和罗茨泵三种。阿尔卡特进口泵维修

转动泵可分为多叶片、活塞式、油封式等儿个大类，其中以油封式*为常用。油封式转动泵又可分为旋片式定片式滑阀式等三种，它们的工作原理基本相同。

叶轮旋涡的速度和形状是由旋涡的运动来决定的，而叶轮旋转速度和形状又是由流道的形状来决定。如果叶轮在转动时，其中一种旋涡占优取决于叶轮轴承，另一种则占优取决于其他两种旋涡

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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ，而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修

转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器，通过密封良好的油泵，再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修

这不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽，收集废油，经过过滤，冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ，但由于泵内有油，失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度，对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力，当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修

所使用的油，要求饱和蒸汽压应尽量代。

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