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EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的*单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
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上轴承为性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
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