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首先,将待镀膜物体放置在真空室内。
接着,通过真空泵系统(通常包括机械泵和分子泵)排除真空室内的气体,以创造一个高真空环境。这种高真空环境有助于减少气体和杂质对镀膜过程的干扰,确保镀膜质量。
镀膜材料的准备:
根据需要制备的薄膜类型,选择相应的镀膜材料。常用的镀膜材料包括金属、氧化物、氮化物等。
这些材料通常以块状或颗粒状的形式放置在镀膜设备的固体样品舟中。
镀膜材料在真空环境下受热,由固相转变为气相。
蒸发的镀膜材料随着气体扩散沉积在待镀膜物体表面,形成薄膜。
常用的蒸发方式包括电子束蒸发、阻焦蒸发和溅射镀膜等。
电子束蒸发:通过加热电子束源,产生高能电子束瞄准镀膜材料进行蒸发。
阻焦蒸发:固体样品舟中的镀膜材料由电流通过产生热量,达到蒸发温度后升华为气体形态,并沉积在待镀膜物体表面。
溅射镀膜:在真空环境中,通过给镀膜材料加速电压,使其表面离子化,并在外加电场作用下,通过离子轰击将材料蒸发。
对于某些特殊的镀膜工艺或材料,可能需要更严格的环境湿度控制。例如,化学镀膜生产过程中湿度的标准应为相对湿度不超过70%,以避免水分与化学药剂产生反应。
定期检查和调整:
定期检查湿度控制系统的运行状况,确保其正常工作。根据季节变化和室内环境的变化,适时调整加湿或降湿措施,以保持环境湿度的稳定。
镀膜材料准备过程中需要注意材料选择、清洁、真空室准备、温度和湿度控制、安全操作以及记录和检验等方面。
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