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随着科技和经济的提升,各种类型各种镀膜工艺的真空镀膜设备在不断的增加,其功能也越来越完善。
真空镀膜设备普遍应用于工业生产,在与待镀工件形成薄膜的过程中,可以地测量和控制蒸发或溅射成膜材料的膜厚,从而保证膜厚的均匀性。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。
真空镀膜机是由真空炉体,真空泵,控制柜,真空计,冷却系统等部件组成,真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
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