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真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。
真空镀膜机对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来。真空镀膜机是由真空炉体,真空泵,控制柜,真空计,冷却系统等部件组成,真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
真空镀膜是真空科学技术领域中活跃的一门应用技术,它涉及到镀膜设备、工艺、膜材、靶材等诸多方面,薄膜的种类很多。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用
擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
镀膜设备种类复杂,只需要按照大的工艺分常有的,比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术,按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。
真空镀膜机的操作注意事项
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;
5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;
6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
8、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;
9、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免;
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