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充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。
控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
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真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
氦气检漏设备主要技术指标
实际使用氦气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s; 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内; 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力:1000Pa;★真空箱门设安全光电保护装置,确保操作者安全★氦气示踪安全环保。 电源需要220v,50Hz,单相,10A。
使用氦气检漏设备时,请注意其机械泵的抽速为4L / S; 工作环境要求为5-40℃;离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。 应注意相对湿度必须小于或等于80%; 尺寸:600(W)×550(D)×1000(H); 通常重量将保持在65kg。 关于氦气检漏设备,应注意其配备了标准氦气检漏装置,包括更详细的校准报告。
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