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气相沉积与金属喷镀不同,气相沉积不受视线阻碍,需镀膜的产品,其所有的表面皆会被气体单体紧密覆盖,而达到精细均匀、高质量的镀膜表层。
对于腐要求的粘结钕铁硼磁体如果使用时(包括装配,焊接)温度不超过130度可以选择采用,特别是对于小规格磁体不适用电泳的条件下具有很高的效率和良好的抗腐蚀能力,可以满足盐雾120小时。
采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。
Parylene是20世纪60年代中期美国联合碳化物公司开发的一种分子级敷型涂层材料,是的聚对二(poly-P-xylylene)聚合物系列的通用名称,根据分子结构的不同,可分为Parylene N、C、D、HT、F型等多种类型。
Parylene N是一种很好的介电材料,具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有Parylene中穿透能力高的一种,有很好的自润滑性,摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求,符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
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