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危害热阴极水解真空计测量低值的原因是什么?怎样改善?
答:电子器件打进搜集极上造成软X射线辐射源,正离子搜集极消化吸收了软X射线会造成光电材料发送,从而产生的电子器件电流量恰好与正离子电流的方向一致,故累加在一起,但此电流量与工作压力不相干,当工作压力下降到产生的电离电流量显著低于光电流时,搜集极的离子流便不会再随工作压力转变,即抵达测量低值。扩大离子流,减少光电流可以使测量低值的扩展。
薄膜电容规
在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形,使得金属膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用,以消除温度不同对膜片力学性能的影响,使用前一般需要预热数小时。
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间接测量真空计 压力为10-1Pa时,作用在1cm2表面上力只有10-5N,显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。
属于这类的真空计有:
(1)压缩式真空计:其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。Inficon真空计 维修保养厂家
(2)热传导真空计:利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。
(3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力有关原理。
(4)电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放*性电离真空计等。
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荧光检漏
它是利用荧光检漏剂在紫外/蓝光检漏灯照射下会发出明亮的黄绿光的原理,对各类系统中的流体渗漏进行检测的。在使用时,只需将荧光剂按一定比例加入到系统中,系统运作20分钟后戴上zhuan用眼镜,用检漏灯照射系统的外部,泄漏处将呈黄色荧光。
氦质谱检漏
以气体氦气作示漏气体,用气体分析仪检测氦气而进行检漏。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪维修报价
氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动,此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。氦质谱检漏仪维修报价
荧光检漏
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