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热阴极电离规中,由热阴极即灯丝发射电子,电离真空中的气体分子,产生离子,由收集极收集产生的离子,形成离子电流,通过测量离子电流的大小即可推算出真空中气体分子的密度,进而得到气压大小。
热阴极电离规这种规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa。
经改进后的热阴极电离规,Bayard-Alpert规,可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同气体在相同气压下的电离率不同,这种规在使用时也需要在不同气体下进行标定。
背压法检测优点:
1. 检测灵敏度高
2. 可以进行批量化检测
吸qiang法检测缺点:
1. 不能进行大型密封容器的漏
2. 在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能
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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养多少钱 英福康真空计保养
表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反应时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调节阀的性能。压力控制仪广泛应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等领域,其使用的环境条件与同类型的真空计大致相同。英福康真空计保养
皮拉尼型真空计利用惠斯通电桥 Wheatstone bridge 的补偿原理,其中的一灯丝作为该电路的其中一个电阻。当灯丝所在的气体分子密度改变时,其热导率会有所不同,因此灯丝所表现的温度也会不同,间接影响电阻值的大小。固定电压,固定电流以及固定温度中以*后一种方法做敏感。值得注意的是,不同气体的热导率不同,因此在测量的时候要刻度上需要校对。英福康真空计保养
2. 衍生出两种类型的皮拉尼规
1) 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度
2) 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
3. 气体的热传导,与下列提条件有关:
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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养多少钱英福康真空计维修保养服务
广州潽拓光电科技有限公司是进口真空泵供应商,为客户24小时提供技术支持及售后维保服务,包括磁悬浮分子泵、高真空分子泵、分子泵、隔膜真空泵、涡旋分子泵,涡轮分子泵、超高真空泵、复合分子泵等。
皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围(空气,氧气,yi氧化碳,氮气):5 x 10-4至 1000 mbar
精度(氮气):1x 10-3… 100毫巴±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴±50%
100 ... 1000毫巴±50%
5.皮拉尼真空计的优特点
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以*大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命
氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后,如果灯丝仍不能发射离子流,则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁,请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路,请更换灯丝。如果没有,请检查端子是否与其他连接器连接,以消除短路。
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