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东莞东欧真空设备有限公司
主营：真空机电设备及零配件,电子材料,仪器,润滑油
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| 价格： | 来电议定 |
在选真空泵时就要注意要选择真空度高，抽气速率大的真空泵，如旋片式真空泵就才能满足要求;而抽滤，旋转蒸发仪要求的真空度和抽气速率相对低，所以可选择普通的真空泵就可以，如隔膜真空泵和循环水真空泵就可以。
隔膜真空泵根据对气体处理的不同程度可以分为一级泵，二级泵，三级泵和四级泵，一级泵时对气体经过一次的压缩处理而达到抽气减压的作用，一级泵真空度低但抽气量大，四级泵是对气体经过四次压缩处理而达到抽气减压的作用，四级泵技术要求较高，四级泵真空度gao但抽气速率小，国内的隔膜gao做到二级，国外gao做到四级,因此真空度越高，抽气速率越大价格也就越贵，所以选择真空泵时一定要根据实际情况来选择。
适合泵送氧化剂的 Edwards RV 泵的主要优点：
任何旋转式叶片泵的高气镇流量
允许稀释泵送的气体以便大限度地减少油的氧化
提供 PFPE 选配型
适合泵送氧气和卤代化合物
RV 泵的高气镇允许更高的氧气流量，同时保持稀释到下限以下。在与可选的油回收套件配合使用时可防止气镇将所有油吹入到废气，与备有 PFPE 的泵配合使用时可避免油被氧化，RV 泵是适合泵送氧气的可靠泵。同样，这些特性使得 RV 泵适用于泵送其他氧化剂，如卤素和卤代化合物。对于这些化合物，着火/不是问题，但气镇仍可用于稀释以保护油和轴承。应使用 PFPE 以延长油的寿命。
泵系列
Edwards 的坚固耐用型真空泵系列提供的极限性能，同时拥有良好的抽取速度。RV 不仅运转安静，而且有优异的蒸汽处理能力。
RV3
RV3 PFPE
RV5
RV5 PFPE
RV8
RV8 PFPE
RV12
RV12 PFPE
本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
爱德华真空泵维修：真空容积，检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
泵系列
Edwards 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计，它提供的抽取速度，并且是*的热 管理系统的一部分，可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命，以确保泵具有长的使用寿命。
GXS160
GXS160/1750
GXS250
GXS250/2600
GXS450
GXS450/2600
GXS450/4200
GXS750
GXS750/2600
GXS750/4200
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第10年
