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东莞东欧真空设备有限公司
主营：真空机电设备及零配件,电子材料,仪器,润滑油
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| 价格： | 来电议定 |
真空泵维修应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件，
注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换，
应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。
工作环境更好，环境影响低：
安静运转
操作简单：
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油：
采用密封结构，实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本：
长维修间隔和低功耗
更快的制程：
出色的蒸汽处理能力
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。
真空泵维修解决方法如下：
(1)提供电机正确的电压
(2)将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照，必要时，请校正。如果环境温度较 高：可将设定值根据正常电机电流提高5%
不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修
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第10年
