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(2)各种镀膜技术都需要有一个蒸发源或靶子,以便把蒸发制膜的材料转化成气体。其防尘、防潮、防水的耐透气性效果,可使产品达到国际性防尘、防水的IP等级规范(*注1)。由于源或靶的不断改进,大大扩大了制膜材料的选用范围,无论是金属、金属合金、金属间化合物、陶瓷或有机物质,都可以蒸镀各种金属膜和介质膜,而且还可以同时蒸镀不同材料而得到多层膜。
(3)蒸发或溅射出来的制膜材料,在与待镀的工件生成薄膜的过程中,对其膜厚可进行比较的测量和控制,从而保证膜厚的均匀性。
物质以分子的形式紧密结合在一起,当水遇到这样的涂层,就会凝结成水珠滚落,可以实现很出色的防水防潮效果。而且,这样的纳米膜还可以涂覆在内部电子元件表面,这样即使有水进到内部也不会造成损坏。
纳米涂层在显微镜上观察有多个纳米颗粒组成,相临的纳米颗粒之间形成极细小的气孔,气孔远小于水分子,表面气孔产生气垫效应,从而托住水分子,达到斥水斥油污的目的,同时由于颗粒之间的不平整,导致水滴在膜层表面的接触角变大,使水滴轻易的滑落
微电子集成电路Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。实际应用中,我们往往会根据产品的性质来决定选用哪种真空镀膜工艺。
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