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东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(PA-RYLENE)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。因此,为了避免真空污染,设备零件的表面清洗处理是非常重要的。真空镀膜机设备表面处理有四种基本方法
溶剂脱脂
附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去,矿物油可用除去。
然而,在实际的清洗设备中,通常使用两种溶剂。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
2、扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。
3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
4、扩散泵如暂时不用,保管期间应该保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。
5、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具有很多种类,包括真空离子蒸发 ,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜设备在使用中也会很多问 题,比如镀出的产品掉膜。下面我们就来介绍一下真空镀膜设备镀出的产品掉膜原因。
1.产品表面的洁净度不够,离子源清洗气放大时间过长。
2.清洗时是否加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议使用纯水先试一下。
3.工艺参数是否变动,在膜厚和电流上可进行一些调整。
真空镀膜设备的真空系统构成:
目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、超高真空系统、制冷机低温泵系统。
一、通用真空系统
系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4Pa的范围内。
二、超高真空系统
在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上,从而得到超高真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。
镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。
三、制冷机低温泵系统
使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、蓬盘维护方便。
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