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Parylene 材料
Parylene N,聚对二*。将二中的一个氢原子用一个氯原子所取代,就得到Parylene C;将其中两个芳香烃氢原子被氯原子取代,就得到Parylene D;苯环上的4个氢原子被氟取代,即可得Parylene F;而将二上的H原子替换为F原子,就得到HT型Parylene。
性能和用途
Parylene N是一种很好的介电材料,具有非常低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。它是所有Parylene中穿透能力高的一种,有很好的自润滑性,摩擦系数为0.25。符合ISO-10993生物试验要求,符合UDP第六类塑料的生物试验要求。
真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节,当发现真空镀膜机腔体漏气的时候,能及时排查处理,显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生,当抽气系统抽气后使真空室内压强下降,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,造成真空度下降。
镀膜设备的镀膜方式:离子镀,蒸发镀,溅射镀
(1)镀膜设备的特点: 成膜速度快0.1- 50um/min,设备比较简单,操作容易;制得薄膜纯度高;薄膜生长机理较简单。
镀膜设备镀出的产品掉膜是怎么回事?
一、产品表面洁净度不够,离子源清洗气放大时间长点。
二、清洗是否有加了清洗剂,或者更换了清洗剂,建议用纯水先试一下。
三、工艺参数是否有变动在膜厚和电流上可以做点调整。
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