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真空镀膜机是由真空炉体,真空泵,控制柜,真空计,冷却系统等部件组成,真空驴体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
根据工艺要求选择不同规格及类型真空镀膜机,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
真空镀膜设备三大保养技巧
当阀泵连续工作一个月之后,为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动,拧开放油螺栓,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,观察油视镜倒入新油加到一定额度,平常换油时应将油盖打开,有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。
真空镀膜机的操作注意事项
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;
5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;
6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;
8、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;
9、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免;
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