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真空镀膜加工的科学蒸镀
在真空蒸镀时,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料产生的,而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击、激光蒸发或放电法等。图1-1是真空蒸镀设备和一些蒸发源的简图。该真空蒸镀设备的工作室为金属钟罩,并备有手动的或液压的提升机构。底盘下面是由机械泵和扩散泵组成的抽气系统,通过真空阀门对工作室抽真空。
真空镀膜加工适用于那些地方
眼镜镀膜常用药品:二氧化锆(ZrO?)、二氧化硅(SiO?)、ITO(添加镜片导电抗紫外线)、HT-100(防水膜,防止老化和氧化)……
镀膜原理:高电压电子将以上几种药品汽化,均匀分布在镜片外表。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技能为基础,使用物理或化学办法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技能,为科学研究和实践出产供应薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸腾或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝结并堆积的办法,称为真空镀膜。
电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,特别适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
优点:
1、电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热源更大的能量密度。
2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料与蒸镀材料之间的反应,这对提高镀膜的纯度极为重要。
3、热量可直接加到蒸镀材料的表面,因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。
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