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气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?
可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。
压力对于气体质量流量控制器影响有哪些?
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。
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