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模式选择:
通过切换,选择浓度模式和流量模式两种基本控制模式。
浓度模式:用户根据自身配气需求,直接在输出设定中输入所需输出的气体浓度,并点击开始自动配出所需浓度气体。
流量模式:
用户通过每台MFC的手动流量设定,自行控制内部截止阀开关,进行自由设定,系统自动换算出当前输出气体浓度。、
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配气仪原理
配气原理为质量流量混合法。采用的质量流量控制器,控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置,便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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配气仪
配气仪是用于将两种或两种以上的气体(市面上多为两种),按照一定比例进行配比、混合并输出设定浓度气体的仪器。目前市面上多见的有两种原理的配气仪,一种是三通电磁阀原理,另一种是质量流量计原理。根据用户需要可自行选择。
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配气仪的特点
电磁阀原理的配气仪的优点是气体适用范围比较广,精度高(可大1%),操作比较简单,价格相对较低。常规气体,无需经过特殊设置或换算,就可以直接使用。对于气体种类和所要配比的浓度,在仪器出厂前不需要调教。
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