咨询电话：13426084644
北京晓韬科技有限公司
主营：动态稀释配气仪,膜透仪,智能气路系统,非标系统定制
咨询电话：13426084644
主营：动态稀释配气仪,膜透仪,智能气路系统,非标系统定制
| 价格： | 来电议定 |
气体质量流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道，其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构，可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经由放大后输出，就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC的功能。
压力对于气体质量流量控制器影响有哪些？
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理，利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计，热式流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。
温馨提示：以上是关于辽宁气体流量控制哪家好承诺守信 北京晓韬科技有限公司的详细介绍，产品由北京晓韬科技有限公司为您提供，如果您对北京晓韬科技有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ，您也可以查看更多与机械及工业制品相关的产品！
免责声明：以上信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷， 纠纷由您自行协商解决。
风险提醒：本网站仅作为用户寻找交易对象，就货物和服务的交易进行协商，以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险，建议您在购买相关产品前务必 确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息，请采购商谨慎对待，谨防欺诈，对于任何付款行为请您慎重抉择！如您遇到欺诈 等不诚信行为，请您立即与天助网联系，如查证属实，天助网会对该企业商铺做注销处理，但天助网不对您因此造成的损失承担责任！
联系：tousu@tz1288.com是处理侵权投诉的专用邮箱，在您的合法权益受到侵害时，欢迎您向该邮箱发送邮件，我们会在3个工作日内给您答复，感谢您对我们的关注与支持！
第6年
