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北京科创鼎新真空技术有限公司
主营：氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
科创真空——真空箱氦检漏供应商，我们为您带来以下信息。
真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。
2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；
3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相对湿度： ≤80%；
7、氦气源及减压器：氦气纯度为 99％。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
空调检漏设备
以下内容由科创真空为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。
主要应用于家用空调冷凝器、蒸发器、压缩机、截止阀和冰箱、冷柜、雪融机等制冷行业产品，大部分采用多工位设置、箱外充氦、箱内检测的方式。
技术参数参考
检测精度：冷媒2克/年；
检测节拍：多箱联动 20S～60S/箱
真空箱内腔尺寸：根据被检工件外形及尺寸定制；
抽空充氦方式：真空箱外抽空充氦；
开门方式：斜提拉式/抽屉式/垂直提拉式；
氦气回收率：98%；
控制方式：PLC控制，触摸屏操作；
自动化程度：人工连接工件后，启动设备后，各工位自动判别、自动检测；
安全保护：光栅保护、电气互锁保护、层级密码控制、声光报警
主要配置：关键元器件全部进口品牌
半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
氦质谱检漏仪
充氦法
充氦法也称负压法 ，一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐，将被检零件装入一个气室，开始关闭氦气罐阀门，机械泵把气室先抽成真空，然后关闭真空泵阀门，打开氦气罐阀门给气室充氦，并静置一段时间。氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。被氦气包围的小器件上如果有漏隙，氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开，取出被检器件，用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中，把此容器抽空后打开节流阀，这时原*入被检器件的氦又会经过漏孔放出来，检漏仪就会给出漏率响应。
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第5年
