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氦检漏步骤
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源,关闭上部手动挡板阀,开启检漏仪总电源,此时,“放气”灯亮起,等待系统运行
3、当”系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时,观察预置参数,应为10-15,一般取15,观察数值,应为10的-8至-9次方时,可以开始检漏(等待几分钟)
4、按'检漏”键,缓慢开启顶部手动挡板阀,注意:检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏,
5、 数值稳定后,先记录下来,这就是. '本底”
6、逐个将氦气充入焊缝,并封堵插入口,将数值变动记录下来。全部完成充氦后再观察20分钟,看数值有无大的变动。
7、关机时,应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键,后关电源。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说?
所谓的精度终指向的是--测试氦分压 (微观为个数,宏观则表现为在容器壁上的压力)(空气中5ppm氦气)
(1)吸质谱检漏,假定流量为300 sccm, 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s,但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7,是因为加入了软件滤波(抑零)等。
(2)真空法,氦本底=分子泵抽速(辅助泵有则加上)*腔体内氦浓度*入口处压力,有很多外部条件。
为什么氦质谱仪要用外置标准漏孔标定
输入错误的内置漏孔漏率值,氦质谱仪自检时一般也能通过,说明氦质谱仪是对比性测试设备,氦质谱仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少,必须要有参照物——标注漏孔来确定。
因此,现有氦检漏相关标准中都详细规定了氦质谱检漏仪在使用前,使用过程中和使用后要正确使用标准漏孔进行标漏,才能保证氦检漏结果的正确性。
氦检漏服务
近年来,随着高真空检漏技术科学领域的不断发展和应用技术的日趋成熟,以及高真空检漏仪器技术的不断创新和进步仪器更新换代很快。任何仪器在制作过程中难免会遇到密封不严的情况,某些不重要的设备中轻微的泄露没有太大关系,但是在半导体器件、集成电路等重要电气设备及仪器中,良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要。从技术性能、高可靠性、准确性、耐用性、灵活性和等各方面都有着划时代的进步,从而使高真空检漏仪器从科学研究领域、实验室的应用逐渐普及到工业和民用领域的应用。
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